Selección del acero inoxidable 316L para Semiconductor Gas Filtrar por yaang.com por Yane Yang

el continuo aumento de la sofisticación de dispositivos semiconductores, y la disminución resultante en anchos de línea, requiere componentes más limpios en todo los sistemas de suministro de gas de proceso. Correctamente diseñados de alta pureza conjuntos de filtro de gas son transparentes a los mandantes homogéneas en la corriente de gas, es decir, para eliminar la contaminación de partículas sin otro efecto sobre la pureza del gas de entrada. Con el fin de lograr este objetivo, los conjuntos utilizados para albergar a los dispositivos de filtro más a menudo se construyen de lisa, limpia y electropulido. de acero inoxidable 316

"suave y limpio" es un término relativo, lo que requiere una definición más explícita. Requisitos de las especificaciones se establecen siempre los límites de rendimiento de conjuntos de filtro se entienden claramente y medible. Por ejemplo, la contribución de la humedad y rugosidad de la superficie están razonablemente bien definidos. Sin embargo, estos criterios se basan en mediciones limitados por la sensibilidad de la mejor instrumentación disponible. Con el fin de cumplir con estos criterios, los "mejores" materias primas disponibles entre los que fabrican componentes a menudo se especifican. La lógica de simplemente escoger el mejor material sigue sólo si el material en última instancia, cumple con los destinados requisitos y si el fabricante conjunto de filtro de entender qué material ; especificación   propiedades . Están gobernando

Yaang evalúa cuidadosamente todas las materias primas utilizadas para la fabricación de gas de semiconductores conjuntos de filtro. Hay muchas características importantes de acero inoxidable 316L que deben ser considerados en el diseño de estos conjuntos de alta pureza. Acero inoxidable 316L Escriba es una aleación de bien caracterizado y entendido. Su buena resistencia a la corrosión es un resultado tanto de formulación cuidadosa de los principales elementos de aleación (Fe, Ni, Cr, Mn y Mo), así como el control de constituyentes en trazas críticos (C, S, y Si). Al igual que otros componentes acabados, conjuntos de filtros utilizan el acero inoxidable que ha sido trabajar de otro, es decir, laminado, dibujado, mecanizada o   soldada;.

En estos casos, no es suficiente para simplemente especifique la química de materiales. Cada uso previsto del acero inoxidable puede implicar una ligera modificación de la especificación básica, pero los requisitos especificados más comúnmente resulta en un acabado superficial electropulido fina son:

  • Química 316L equilibrada

  • austenítico homogénea. . microestructura

  • muy pocas inclusiones

  • Bella   grano; estructura

    Comparación Materiales:.. Barras de acero inoxidable

    ID CALOR #

    SPEC.- - »N /A

    SA47935439

    TypicalN /A

    VAR Spec.Typ.1ELEMENTAL(%):



    FeBAL.BAL.BAL.Cr16-1817.116-18Ni10-1412.010-14Mo2-32.12-3Mn2*1.7<2Si1.0*0.45≈0.5C0.03*0.020<0.03S0.03*0.0020≤0.005* = Máximas

    Criterios

    adicionales

    GRAIN TAMAÑO-5No Specified2INCLUSION TIPO

    (ASTM E-45) -NUMBERNUMBERSulfides-0.52.03Alumina-003Silicates-02.53Oxides-1.51.53 1 316L VAR no especifica (o provocar) la composición química que es de mayor rendimiento que SA479 con la excepción notable de azufre reducido página 2. los valores de medición típica estaban dentro de una ventana de 5.10.

    3 No especificado. Típica indicada.

    El fin de eliminar los huecos microscópicos en la masa fundida, así como para purificar adicionalmente el metal mediante la reducción de ciertas impurezas contaminantes, muchos aceros inoxidables de alta pureza se someten a un proceso de fusión secundaria (por ejemplo, de vacío refusión de arco, conocido como VAR) . Este proceso reduce sulfuros, silicatos, fosfatos, alúminas, y otras impurezas. De estas impurezas, azufre es la más perjudicial para el logro de finishe superficie fina (suponiendo que los demás impurezas están dentro de los límites especificados normalmente).

    Estas trazas de impurezas tienden a molestar ("break") la estructura austenítica estable y forma inclusiones que son menos noble que el metal de origen. Cuando las inclusiones son poco frecuentes y de tamaño muy pequeño, esto puede no ser un problema. Sin embargo, cuando las superficies muy finas (< 10 micropulgadas Ra) se desean, todas las inclusiones se ponen de manifiesto después de pulido mecánico final o electropulido. Es por esta razón que 100X inspección microscópica después de bien pulido mecánico se utiliza comúnmente para cuantificar el contenido de la inclusión. El electropulido menudo acentúa los defectos en la superficie mediante la eliminación de las inclusiones menos nobles primero, a través de la disolución preferencial .

    Estructura de grano también se debe considerar al elegir alta pureza acero inoxidable. Materiales de grano fino son preferibles ya que tienden a ser más homogénea. A medida que crecen los granos (por ejemplo, durante el enfriamiento lento), hay más tiempo para que los interruptores de austenita a precipitar a los límites de grano. Esto tiene el efecto de transformar una dislocación limpia de la estructura ("saludable" límite de grano) en un sitio de inclusiones. Además, los materiales de grano fino conducen la corriente eléctrica de manera más uniforme. Conductancia Uniforme es una característica importante durante el proceso electrolítico

    Fuente:. Zhejiang Yaang Pipe Industry Co., Limited (www.yaang.com)